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环境对真空应用的影响所谓常规真空工艺系指没有特殊请求的真空工艺过程，这类真空安装（设备）对真空卫生的请求： （1）但凡处于真空中的真空设备零件，都请求无积存的污染源，外表无尘埃，无铁屑、无锈蚀； （2 ）真空设备的真空室外表要润滑、无松软组织和气孔、无内焊缝等影响真空的缺陷； （3 ）高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作光滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作光滑剂；法兰、察看窗的密封部件要涂以高真空油脂； （4）真空设备普通应在温度为15～30℃，相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于25 ℃。 电真空工艺对环境的请求 真空镀膜工艺对环境的请求 |
